Semitron™ MPR 1000 PAI shapes possess excellent heat resistance and low rates of outgassing and erosion in plasma chambers. This high purity material with low ionic content is often chosen for vacuum chamber applications within etch, CVD and ion implant sub-segmentations in the semiconductor and electronics industry.
Semitron™ MPR 1000 PAI shows increased lifetime over traditional materials, for example up to 25x over polyimide in ozone in some cases. Due to its longevity, it is specified against traditional materials used in vacuum chamber applications such as quartz, ceramics, polyimides and other engineering plastics.
FASTIGHETER
Low ionic content and low outgassing
Excellent heat resistance
Minimized rate of erosion in plasma chambers
Optimal chip resistance, durability and machinability
Designed specifically for demanding chamber applications
Termiska egenskaper
Fastighet
Värde
Värme Avböjningstemperatur vid 1,8 MPa (264 psi) (ºC)
278
Kontinuerlig tillåten driftstemperatur i luft
260
Mekaniska egenskaper
Fastighet
Värde
Draghållfasthet (MPa)
99
Elasticitetsmodul för drag (MPa)
6,050
Tryckspänning vid 1% nominell töjning (MPa)
47
Tryckspänning vid 2% nominell töjning (MPa)
79
Tryckspänning vid 5% nominell töjning (MPa)
130
Böjhållfasthet (MPa)
Charpy-slag i skåran (kJ/m²)
5.0
Kemiska egenskaper
Fastighet
Värde
Varmvatten / ånga
Begränsad
Syror, svaga
Godtagbar
Syror, starka (pH 1-3)
Begränsad
Alkalier, svaga
Begränsad
Alkalier, starka (pH 11-14)
Ej godtagbart
Kolväten - Aromatiska
Godtagbar
Kolväten - alifatiska
Godtagbar
Ketoner, estrar
Godtagbar
Klorerade lösningsmedel
Godtagbar
Alkoholer
Godtagbar
Oorganiska saltlösningar
Godtagbar
Elektriska egenskaper
Fastighet
Värde
Dielektrisk hållfasthet (kV/mm)
Egenskaper för certifiering
Fastighet
Värde
FDA
Uppfyller inte kraven
Europeiskt livsmedelsgodkännande
Uppfyller inte kraven
NSF
Uppfyller inte kraven
3A-SSI
Uppfyller inte kraven
Kanada AG
USDA
Uppfyller inte kraven
Brandfarlighet (UL-klassning)
V-0
Medicinsk användning
Diverse fastigheter
Fastighet
Värde
Basmaterial
PAI
Varumärke Familj
Färger
Yellow-brown
Densitet (g/cm3)
1.47
Vattenabsorption efter 24 timmars nedsänkning i vatten (%)
