Semitron™ MPR 1000 PAI shapes possess excellent heat resistance and low rates of outgassing and erosion in plasma chambers. This high purity material with low ionic content is often chosen for vacuum chamber applications within etch, CVD and ion implant sub-segmentations in the semiconductor and electronics industry.
Semitron™ MPR 1000 PAI shows increased lifetime over traditional materials, for example up to 25x over polyimide in ozone in some cases. Due to its longevity, it is specified against traditional materials used in vacuum chamber applications such as quartz, ceramics, polyimides and other engineering plastics.
PROPRIÉTÉS
Low ionic content and low outgassing
Excellent heat resistance
Minimized rate of erosion in plasma chambers
Optimal chip resistance, durability and machinability
Designed specifically for demanding chamber applications
Propriétés thermiques
Propriété
Valeur
Température de déviation thermique à 1,8MPa (264 psi) (ºC)
278
Température de service admissible en continu dans l'air
260
Propriétés mécaniques
Propriété
Valeur
Résistance à la traction (MPa)
99
Module d'élasticité en traction (MPa)
6,050
Contrainte de compression à la déformation nominale de 1% (MPa)
47
Contrainte de compression à la déformation nominale de 2% (MPa)
79
Contrainte de compression à la déformation nominale de 5% (MPa)
130
Résistance à la flexion (MPa)
Impact Charpy entaillé (kJ/m²)
5.0
Propriétés chimiques
Propriété
Valeur
Eau chaude / Vapeur
Limitée
Acides faibles
Acceptable
Acides forts (pH 1-3)
Limitée
Alcalis faibles
Limitée
Alcalins forts (pH 11-14)
Not acceptable
Hydrocarbures - Aromatiques
Acceptable
Hydrocarbures - Aliphatiques
Acceptable
Cétones, esters
Acceptable
Solvants chlorés
Acceptable
Alcools
Acceptable
Solutions salines inorganiques
Acceptable
Propriétés électriques
Propriété
Valeur
Rigidité diélectrique (kV/mm)
Certification Properties
Propriété
Valeur
FDA
Non conforme
European Food Approval
Non conforme
NSF
Non conforme
3A-SSI
Non conforme
Canada AG
USDA
Non conforme
Inflammabilité (classement UL)
V-0
Medical use
Propriétés diverses
Propriété
Valeur
Matériau de base
PAI
Famille de marques
Couleurs
Yellow-brown
Densité (g/cm3)
1.47
Absorption d'eau après 24 heures d'immersion dans l'eau (%)
