Semitron™ MPR 1000 PAI shapes possess excellent heat resistance and low rates of outgassing and erosion in plasma chambers. This high purity material with low ionic content is often chosen for vacuum chamber applications within etch, CVD and ion implant sub-segmentations in the semiconductor and electronics industry.
Semitron™ MPR 1000 PAI shows increased lifetime over traditional materials, for example up to 25x over polyimide in ozone in some cases. Due to its longevity, it is specified against traditional materials used in vacuum chamber applications such as quartz, ceramics, polyimides and other engineering plastics.
PROPRIÉTÉS
Low ionic content and low outgassing
Excellent heat resistance
Minimized rate of erosion in plasma chambers
Optimal chip resistance, durability and machinability
Designed specifically for demanding chamber applications
Propriétés thermiques
Propriété
Valeur
Température de déviation thermique à 1,8MPa (264 psi) (ºC)
278
Température de service admissible en continu dans l'air
260
Inflammabilité (classement UL)
V-0
Propriétés mécaniques
Propriété
Valeur
Résistance à la traction (MPa)
99
Module d'élasticité en traction (MPa)
6,050
Contrainte de compression à la déformation nominale de 1% (MPa)
47
Contrainte de compression à la déformation nominale de 2% (MPa)
79
Contrainte de compression à la déformation nominale de 5% (MPa)
130
Résistance à la flexion (MPa)
Impact Charpy entaillé (kJ/m²)
5.0
Propriétés chimiques
Propriété
Valeur
Eau chaude / Vapeur
Limitée
Acides faibles
Acceptable
Acides forts (pH 1-3)
Limitée
Alcalis faibles
Limitée
Alcalins forts (pH 11-14)
Not acceptable
Hydrocarbures - Aromatiques
Acceptable
Hydrocarbures - Aliphatiques
Acceptable
Cétones, esters
Acceptable
Solvants chlorés
Acceptable
Alcools
Acceptable
Solutions salines inorganiques
Acceptable
Propriétés électriques
Propriété
Valeur
Rigidité diélectrique (kV/mm)
Utilisation spécifique à l'industrie (FOOD)
Propriété
Valeur
FDA
Non conforme
L'UE
Non conforme
USDA
Non conforme
3A-SSI
Non conforme
Matériaux VMX
Non conforme
Utilisation spécifique à l'industrie (MEDICAL)
Propriété
Valeur
ISO 10993-5 et USP
Non conforme
ISO 10993-10 Sensibilisation
Non conforme
ISO 10993-10 (réactivité intracutanée) et USP .
Non conforme
ISO 10993-11 et USP .
Non conforme
USP (Implant)
Non conforme
ISO-10993-4
Non conforme
USP
Non conforme
USP Classe VI
Non conforme
AFO - Animal Free Origin (Origine sans animaux)
Non conforme
Utilisation spécifique à l'industrie (RECYCLÉE)
Propriété
Valeur
Portefeuille Statera™
Non conforme
Utilisation spécifique à l'industrie (NUCLEAIRE)
Propriété
Valeur
Portefeuille de blindage
Non conforme
Certifié PMUC
Non conforme
Utilisation spécifique à l'industrie (SEMICON)
Propriété
Valeur
Matériel ESd
Non conforme
Matériaux conducteurs
Non conforme
Propriétés diverses
Propriété
Valeur
Matériau de base
PAI
Famille de marques
Couleurs
Yellow-brown
Densité (g/cm3)
1.47
Absorption d'eau après 24 heures d'immersion dans l'eau (%)
