Semitron™ MPR 1000 PAI shapes possess excellent heat resistance and low rates of outgassing and erosion in plasma chambers. This high purity material with low ionic content is often chosen for vacuum chamber applications within etch, CVD and ion implant sub-segmentations in the semiconductor and electronics industry.
Semitron™ MPR 1000 PAI shows increased lifetime over traditional materials, for example up to 25x over polyimide in ozone in some cases. Due to its longevity, it is specified against traditional materials used in vacuum chamber applications such as quartz, ceramics, polyimides and other engineering plastics.
EIGENSCHAFTEN
Low ionic content and low outgassing
Excellent heat resistance
Minimized rate of erosion in plasma chambers
Optimal chip resistance, durability and machinability
Designed specifically for demanding chamber applications
Thermische Eigenschaften
Eigentum
Wert
Wärmeverformung Temperatur bei 1,8MPa (264 psi) (ºC)
278
Dauernd zulässige Betriebstemperatur in Luft
260
Mechanische Eigenschaften
Eigentum
Wert
Zugfestigkeit (MPa)
99
Zug-Elastizitätsmodul (MPa)
6,050
Druckspannung bei 1% Nenndehnung (MPa)
47
Druckspannung bei 2% Nenndehnung (MPa)
79
Druckspannung bei 5% Nenndehnung (MPa)
130
Biegefestigkeit (MPa)
Charpy-Kerbschlagzähigkeit (kJ/m²)
5.0
Chemische Eigenschaften
Eigentum
Wert
Heißwasser/Dampf
Begrenzt
Säuren, schwache
Annehmbar
Säuren, stark (pH 1-3)
Begrenzt
Alkalien, Schwache
Begrenzt
Alkalien, stark (pH 11-14)
Nicht akzeptabel
Kohlenwasserstoffe - aromatisch
Annehmbar
Kohlenwasserstoffe - Aliphatische
Annehmbar
Ketone, Ester
Annehmbar
Chlorierte Lösungsmittel
Annehmbar
Alkohole
Annehmbar
Anorganische Salzlösungen
Annehmbar
Elektrische Eigenschaften
Eigentum
Wert
Durchschlagfestigkeit (kV/mm)
Eigenschaften der Zertifizierung
Eigentum
Wert
FDA
Nicht konform
Europäische Lebensmittelzulassung
Nicht konform
NSF
Nicht konform
3A-SSI
Nicht konform
Kanada AG
USDA
Nicht konform
Entflammbarkeit (UL-Bewertung)
V-0
Medizinische Verwendung
Verschiedene Eigenschaften
Eigentum
Wert
Grundmaterial
PAI
Marke Familie
Farben
Yellow-brown
Dichte (g/cm3)
1.47
Wasserabsorption nach 24 Stunden Eintauchen in Wasser (%)
