Semitron™ MPR1000 Fallstudie

Wir halfen unserem Kunden, die vorzeitige Erosion von Polyimid (PI)-Teilen zu überwinden, die in den Vakuumkammern seiner Ätzwerkzeuge verwendet werden.

Zum Vorteil unserer Kunden bedeuteten unsere Branchenkenntnisse und unser zukunftsorientierter Ansatz, dass wir bereits ein verbessertes PAI-Material entwickelten, das für die anspruchsvollen Anforderungen der Halbleiterätztechnik geeignet ist.

In Zusammenarbeit konnten wir das neue Material so verfeinern, dass es den Spezifikationen des Unternehmens entsprach, während wir seine Leistung in realen Anwendungen aktiv testeten. Das Ergebnis: Unser einzigartiges Semitron™ MPR1000, ein verbessertes Polyamid-Imid, bietet einen wesentlich längeren Schutz gegen die Erosion durch Sauerstoffreinigung als typische Polyimide (PI).
Industrie: Halbleiter & Elektronik, Chipherstellung

Lösung:Entwicklung eines neuen fortschrittlichen Materials zur Herstellung zuverlässigerer Teile unter Verwendung einer hochfesten, hochreinen Formulierung

Produkte: Semitron™ MPR1000, ein verbessertes Polyamid-Imid (PAI)

Ergebnisse:Stärkere, sauerstoffreinigungsbeständigere Teile führten zu weniger Ausfallzeiten und längeren Zeiträumen zwischen geplanten Wartungszyklen

Verbesserung der Teileintegrität zur Gewährleistung einer kontinuierlichen Produktion

Bei einem großen Hersteller von Halbleiterverarbeitungsanlagen kam es zu einer raschen Erosion durch die Sauerstoffreinigung und zum Ausfall der in den Vakuumätzkammern verwendeten Polyimidteile (PI). Die Verschlechterung der vorhandenen Materialien führte zu Verunreinigungsproblemen und vorzeitigen kostspieligen geplanten Wartungsabschaltungen in der Produktion.

Wir mussten Teile herstellen, die die geforderten Festigkeits- und Reinheitsstandards erfüllen und auch den intensiven Sauerstoffreinigungsprozessen standhalten, die zur Optimierung der Betriebszeit der Werkzeuge erforderlich sind.

Ein proaktiver Ansatz für die Entwicklung fortschrittlicher Materialien

Dank unserer Branchenkenntnis und unseres zukunftsorientierten Ansatzes arbeiteten wir bereits an der Entwicklung eines innovativen neuen Polyamid-Imid-Materials, das sowohl den Ätzwerkzeugprozess als auch die Reinigungsprotokolle übersteht und die Betriebszeit der Werkzeuge durch längere Zeiträume zwischen den erforderlichen geplanten Wartungsarbeiten optimiert.

In partnerschaftlicher Zusammenarbeit mit der technischen Abteilung des OEM haben wir das Material nach dessen Spezifikationen verfeinert und seine Leistungsfähigkeit in realen Anwendungen aktiv getestet.

Das Ergebnis - unser einzigartiges Semitron™ MPR1000 - ist ein verbessertes Polyamid-Imid, das die Teile "panzert" und einen viel länger anhaltenden Schutz gegen die typische Erosion durch Sauerstoffreinigung bietet als herkömmliche Polyamide.

Weniger Produktionsverzögerungen, geringere Kosten

Unser neues Material, das in Zusammenarbeit mit dem OEM entwickelt wurde, ermöglichte einen neuen Ansatz bei der Formulierung fortschrittlicher Polyamid-Imide (PAI) und löste das Problem der Produktionsausfälle bei unserem Kunden.

In Tests hat sich gezeigt, dass Semitron™ MPR1000 im Vergleich zu marktüblichen Polyimid-Materialien einen geringeren Gehalt an Ionenerosion und eine geringere Ausgasung aufweist, was zu einer geringeren Verunreinigung führt, selbst nach stundenlangem Einsatz in standardmäßigen Ätz-Vakuum-Werkzeugumgebungen. Darüber hinaus hat sich gezeigt, dass Teile aus Semitron™ MPR1000 eine etwa 10- bis 15-mal längere Lebensdauer haben, was die gewünschte längere Betriebszeit der Werkzeuge vor der erforderlichen geplanten Wartung ermöglicht.

Der Einsatz von Semitron™ MPR1000 in ihren Bauteilen half den OEMs nicht nur, ihre Anlagen gemäß den zugesagten Spezifikationen zu betreiben, sondern auch die Ausfallzeiten um 90% zu verringern und damit die Waferverarbeitungskapazität drastisch zu erhöhen.

Längere Lebensdauer in der Erosionsumgebung der Ätzsauerstoffreinigung
Niedrigere Wartungskosten
Erhöhte Produktionsbetriebszeit zwischen geplanten Wartungszyklen